抗反射亚波长光栅的特性研究

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摘要抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊（四川大学物理系成都６１００６４）本文利用矢量衍射理论的数值求解方法，研究了亚波长光栅结构参数（光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期）对反射率的影响，发现不仅光栅深度、占空比、光栅周期对反射率存在影响，而...

作者王植恒傅克祥文军王磊

机构地区四川大学物理系

出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期97-97,共1页 Journal of Dalian University of Technology

关键词亚波长光栅抗反射结构参数反射率二元光学元件矢量衍射理论基底厚度占空比光栅周期亚波长结构

分类号 TN011 [电子电信—物理电子学]

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1997年第S2期

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