纳米级二维激光外差干涉仪的设计

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摘要纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目，而预先研究的关键技术之一，即激光外差干涉测量仪...

作者陈晓梅曹航周自力亓爱会

机构地区长城计量测试技术研究所

出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期117-117,共1页 Journal of Dalian University of Technology

关键词激光外差干涉仪纳米级微动工作台扫描隧道显微镜计算机控制原子力显微镜激光外差干涉计量测试处理系统

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大连理工大学学报

1997年第S2期

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