期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

光学薄膜厚度监控的研究

下载PDF

导出

摘要光学薄膜厚度监控的研究魏红振杨杨李家熔（华中理工大学激光工程研究院武汉４３００７４）对于多层薄膜的制备，精确监控每一层膜的厚度是必须的，否则不可能制备一个预期的薄膜系统。应用最广泛的监控方法是采用光电检测，直接测量薄膜透过率或反射率值的极值控制方法。...

作者魏红振杨杨李家熔

机构地区华中理工大学激光工程研究院

出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期118-118,共1页 Journal of Dalian University of Technology

关键词薄膜厚度透过率监控方法微分值光电检测控制灵敏度采样频率激光工程测量误差极值点

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

引文网络
相关文献

1光的偏振与色散[J].中国光学,2008,3(4):9-10.
2杜祥琬.非线性光学相位共轭及其在激光工程中的应用[J].物理,1997,26(6):323-327. 被引量：2
3非线性光学器件[J].中国光学,2008,3(4):39-40.
4光学镜头、光学零部件[J].中国光学,2008,3(3):5-6.
5宋师霞,宋连科.二元复合波片退偏器的研究[J].激光技术,2009,33(6):654-656. 被引量：1
6黎永志,黄光周,帅福利,于继荣.光学薄膜厚度的实时监控算法研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(z1):72-76.
7几何光学光学系统、成像与分析[J].中国光学,2007,2(6):4-4.
8信息光学光学信息处理、图像识别[J].中国光学,2005(6):29-39.
9汤引生,谢谦.衬底温度对Zn_(0.95)Ca_(0.05)O薄膜结构和光学性质的影响[J].商洛学院学报,2012,26(6):36-39. 被引量：1
10黄心耕.光学薄膜的厚度监控及其反射式红外膜层厚度监控装置[J].控制工程（北京）,1991(4):18-22.

大连理工大学学报

1997年第S2期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部