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广义衍射光栅位移测量技术的研究

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摘要广义衍射光栅位移测量技术的研究邾继贵陶国智（天津大学精密测试技术及仪器重点实验室３０００７２）衍射光栅可用于位移的精密测量，但对光栅的质量有严格的要求，从而限制了它的应用。本文从理论上研究了采用一般表面作为广义衍射元件进行位移测量的技术，分析表明：该...

作者邾继贵陶国智

机构地区天津大学精密测试技术及仪器重点实验室

出处《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期142-142,共1页 Journal of Dalian University of Technology

关键词位移测量衍射光栅精密测试精密测量重点实验室衍射元件天津大学应用场合广泛应用分析表

分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]

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大连理工大学学报

1997年第S2期

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