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InP系单片集成波长分离器件的设计和制作

Design and Fabrication of Integrated Inp-based Wavelength Demultiplexer
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摘要 设计和制作了InP/InGaAsP学输入光波导,多输出光波导,和光栅的单片集成波长分离器件,文中给出了器件的设计参数,以及制作工艺,并给出了该器件的测试原理图。 The article reports a method of designing and fabricating a integrated Inp- based wavelength demultiplexer.This device is composed of a single input waveguide,multi- ple output waveguides,and a concaved grating.The device design parameters and fabrication technique are described.The device test setup is also represented.
出处 《光学仪器》 1997年第Z1期98-102,共5页 Optical Instruments
关键词 波分复用 InP/InGaAsP 光栅 Wavelength Demultiplexer InP/InGaAsP Grating
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