微量磨削加工

Abrasive Micro-machining

微量磨削加工工艺可使表面粗糙度和公差达到亚微米和毫微米。例如,超精加工的表面粗糙度可达到0.012μm～0.025μm,或者甚至更小。最为典型的微量磨削加工包括以下这些工艺:如研磨、珩磨、精磨、超精加工、抛光、硅晶体切割以及砂带磨削。