摘要
报道了a-Si/Mo多层膜的电学光学特性,这些特性的研究不仅具有理论的意义,而且有极其重要的实用价值。
The electric and Photoelectric characteristics of a-Si/Mo multilayer films isreported. Research on these properties is significant in both theory and practical application.
出处
《光电子技术》
CAS
1997年第3期166-169,共4页
Optoelectronic Technology
关键词
多层膜
电学光学特性
非晶态
multilayer film, electric and photoelectric characteristics, noncrystalline