浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状被引量：1

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摘要浅谈磁控溅射镀膜工艺及其在我国的发展现状何文（蚌埠玻璃工业设计研究院）一、前言镀膜玻璃是一种在玻璃表面上镀一层或多层金属或金属氧化物薄膜，使其具有一种或多种功能的玻璃深加工产品。自七十年代开始，在世界发达的国家和地区，传统的单一采光材料─—普通建筑玻...

作者何文

机构地区蚌埠玻璃工业设计研究院

出处《居业》 1994年第6期9-12,共4页 Create Living

关键词镀膜玻璃镀膜工艺溅射室设备和技术水平钢化玻璃生产线磁控发展现状镀膜设备化学气相沉积法玻璃表面

同被引文献2

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居业

1994年第6期

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