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摘要
L4375-2-ZE 型区熔单晶炉该项目由 L 4375-2-ZE 型区熔单晶炉和L5060-1-ZE 型高频感应加热设备两部分组成。区熔单晶炉由炉身,炉室,真空管道,上、下轴传动机构,主线圈,同轴线圈,仪表箱,操纵箱,电器箱和进水分配器等组成。
出处
《现代制造》
1994年第12期14-15,共2页
Maschinen Markt
关键词
单晶炉
悬浮区熔法
区熔
高频感应加热
电器箱
水分配器
炉室
真空管道
主线圈
硅单晶
分类号
TK175 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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现代制造
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