真空容器中气氛组成对电阻真空计检测结果影响的研究

真空容器中气氛的组成,由于其物理参数各异,会影响象电阻计这类物理型真空计读数的准确性。在较高和较低真空度下对Ar、CO_2、N_2、O_2等钢液处理中常见气体的研究表明,与空气相比,它们的名义读数均偏离实际压强,其中尤以Ar气和CO_2气更为明显,在较低的真空度下,甚至呈现出名义读数与实际压强反向发展的极端现象。当气氛中Ar或CO_2的压强和浓度达到某一值时,ZR-3型真空计的读数不再随实际压强的变化而变动,而稳定于某一固定值。就钢液的真空处理和真空精炼工艺而言,应以力学型真空计取代物理型真空计。