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IC和光刻设备的现状和预测

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摘要ＩＣ和光刻设备的现状和预测１９８５年诞生了世界上第一块集成电路，从７０年代ＬＳＩ出现以后，大约每３年，集成电路的集成度约以４倍的平均速度增长．预测到１９９５年６ＭＤＲＡＭ将会开始商品化生产。而２５６ＭＤＲＡＭ和１ＧＢＤＲＡＭ将分别于１９９７年和２００...

出处《航空精密制造技术》 1994年第6期21-21,共1页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词光刻设备 IC 商品化生产图形尺寸

分类号 V241.62 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]

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航空精密制造技术

1994年第6期

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