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莫尔条纹技术应用于掩模－硅片的自动对准

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摘要简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．

作者陈计金

机构地区中国航空精密机械研究所

出处《航空精密制造技术》 1994年第5期6-9,共4页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词掩模莫尔条纹光刻机套刻投影物镜衍射光对准精度标记线光栅结构光刻胶

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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航空精密制造技术

1994年第5期

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