微致动技术

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摘要一、引言微致动指致动机构能够产生微米～纳米级的运动。应用于精微操作中的微致动机构,致动器本身并未微小化;而在微型机械领域,其致动器自身的尺寸也微小到了毫米乃至微米级的范围。微机械尺寸小、运动范围小、运动精度高且有一定的输出功率,所以作为其心脏的微致动需具有以下性能:1.微致动器尺寸微小;2.能产生大的力和线位移;3.更有效地应用三维形状以增大功率容量;4.

作者江小宁周兆英李勇叶雄英

机构地区清华大学精密仪器及机械学系清华大学精密仪器及机械学系

出处《中国仪器仪表》 1993年第5期10-12,14共4页 China Instrumentation

关键词微致动器三维形状微操作运动精度微型机械增大功率尺寸比输出功率微小化线位移

分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]

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1993年第5期

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