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光技术用于超精密测定的近况和展望
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摘要
本文介绍了利用光的高分辨率、高精度的测定技术近况,并展望它用于更高精度测定的前景。
作者
陈幼松
机构地区
北京理工大学
出处
《中国仪器仪表》
1993年第5期20-22,共3页
China Instrumentation
关键词
干涉条纹
高分辨率
光技术
反射光
超精密
测定技术
高精度化
电致伸缩
贝塞尔
表面形状
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
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中国仪器仪表
1993年 第5期
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