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新型两坐标微型驱动器及鲁棒控制器

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摘要 本文提出了一种新型两轴共体、带圆弧缺口支点一体化的微型驱动器结构。根据EMM(Exact Model Matching)法得到了相应的控制器,本控制系统具有较强的鲁棒稳定性,轴间干扰渐近解耦。计算机仿真与实测结果表明,本系统驱动范围在50μm×50μm以上,
出处 《广东工业大学学报》 CAS 1993年第1期30-30,共1页 Journal of Guangdong University of Technology
基金 国家自然科学基金
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