可以实现0.08μm对准精度的光刻机

日本住友重机械工业(株)最近开发出以世界上最小的超导SOR为光源的光刻机,从而完成了X射线光刻系统,向256M DRAM以上的下一代半导体存储器迈进了一步(图1)。