硅尖场发射冷阴极阵列的研制及性能研究被引量：1

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摘要本文报道了大面积、小尺寸硅尖锥场发射体阵列的制作工艺及性能测试,表明硅冷阴极阵列在平板显示器件、敏感器件等方面具有广泛应用前景.

作者刘卫东罗恩泽魏春蘅

机构地区西安电子科技大学物理系骊山微电子研究所

出处《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第S1期160-161,165,共3页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

关键词硅场发射冷阴极

引证文献1

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云南大学学报（自然科学版）

1992年第S1期

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