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关于微孔粗糙度电容测定法的探讨

RESEARCH ON TEST METHOD OF TINY ROUGHNESS ADAPT ELECTRIC CAPACITY SENSER
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摘要 本文介绍了采用电容传感器测量微小孔径表面粗糙度的原理和方法;并将测量结果用表面粗糙度评定参数R,来表示。 The articles introduce the principles and the methords. Which ?.dopt electric capacity sensor to measure surface of small bore diamater and use the evaluate parameter 'Ry' to indicate the result of the measurement.
作者 李振邦
出处 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第S1期27-31,共5页 Journal of Hefei University of Technology:Natural Science
关键词 微孔粗糙度 电容传感器 评定参数R_y roughness tiny electric capacity sensor evaluace parameter
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