摘要
本文给出了超高真空蒸镀的实验条件及其镀层厚度的计算公式和部分实验结果。
Experimental conditions for metal deposition in UHV system and formula for calculating thick-ness of the overlayer are given. Some experimental results are also illustrated in this report.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1991年第1期61-64,共4页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
