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ZZSX—600光学镀膜机
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摘要
ZZSX—600光学镀膜机是北京仪器厂最新研制的用于光学镀膜批量生产的先进机型。该机配有大功率e型电子枪和电阻蒸发源,可蒸镀各种高低熔点的金属及化合物材料。设备带有光学膜厚控制仪和石英晶体膜厚速率监控仪。
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1991年第6期419-419,共1页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词
镀膜机
ZZSX
监控仪
北京仪器厂
石英晶体
控制仪
蒸镀
化合物材料
批量生产
性能指标
分类号
TB7-55 [一般工业技术—真空技术]
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真空科学与技术学报
1991年 第6期
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