多层超薄Pt-Si和GaAs相互作用的一个新现象

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摘要我们在超高真空(10<sup>-8</sup>Pa)中于GaAs（100）面上交替溅射淀积多层超薄Si-Pt膜(总厚约为50×10<sup>-10</sup>m)。

作者徐士杰龚彬

机构地区西安交通大学

出处《自然杂志》 1991年第8期634-635,共2页 Chinese Journal of Nature

关键词溅射淀积 Pt-Si 俄歇电子界面区剖面深度 Pauling 扩散异常扩散迁移集曲元素浓度

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自然杂志

1991年第8期

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