摘要
本文介绍全固态气体传感器的研究进展,包括半导体氧化物传感器,固体电解质传感器、催化燃烧式传感器以及基于其他原理的气体传感器。
This paper introduced the development of all solid state gas sensors including semiconductor oxide sensors,solid electrolyte sensors,catalytic combustion sensors,and some sensors based on other principle.
出处
《真空电子技术》
2013年第2期1-8,共8页
Vacuum Electronics
