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类金刚石薄膜结构的研究
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摘要
利用激光Raman光谱和X射线衍射结构分析方法,对类金刚石薄膜结构中的SP^1、SP^2和SP^3三种成键组态进行了较详尽的研究,指明了出现的结构异常现象,并分析和讨论了影响类金刚石薄膜结构的主要因素。
作者
周勇
出处
《长春师范学院学报》
1997年第5期8-10,共3页
Journal of Changchun Teachers Coliege
关键词
DLC
PCVD
结构
分类号
O613.7 [理学—无机化学]
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长春师范学院学报
1997年 第5期
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