扫描探针微电子学

一、微电子技术的极限和纳米电子学的兴起自从微电子技术进入VLSI时代后,电路集成度的提高保持着4倍/3年的速度。1991年4月,美国国家半导体咨询委员会(NACS)与科技政策局(OSTP)主办的2000年微电子技术研讨会提出了90年代的总开发计划,如图1所示。可见今后几年0.1μm的加工技术日渐成熟,最高集成度将向千兆进军。实际上,就实验室水平而言,器件沟道已经达到0.07μm量级,可用于获得千兆位存储器。