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原子层沉积法制备新型功能纳米材料获系列进展
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摘要
原子层沉积技术(atomic layer deposition)是近年来快速发展的一种先进薄膜沉积技术,具有极佳的均匀性、台阶覆盖率、保形性、重复性以及在原子尺度精确控制厚度等突出优点。利用原子层沉积技术设计合成新型功能纳米材料,开发其在能源、催化、环境等领域的应用是当前的研究热点。在中国科学院、国家自然科学基金委、科技部的大力支持下,
出处
《中国粉体工业》
2013年第5期48-48,共1页
China Powder Industry
关键词
纳米材料
原子层沉积
原子尺度
保形性
薄膜沉积
碳纳米
金纳米粒子
均匀性
电磁波吸收
技术设计
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
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中国粉体工业
2013年 第5期
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