微电子技术用高纯金属有机化合物的制备问题

研究了制备高纯金属有机化合物的一些问题,讨论了在合成阶段以及采用蒸馏和结晶方法高度纯化金属有机化合物时杂质组份形成的问题。发现了高度纯化金属有机化合物以除去极小悬浮粒子的问题,以及金属有机化合物设备及贮存、运输容器材料的污染作用。当前,在用MOCVD法生产半导体结构材料时,对高纯挥发性化合物发生了兴趣。