表面粗糙度检测技术发展概述

机械加工中,表面特征的研究是控制机械零件表面质量的主要内容,而表面粗糙度是表面特征的重要技术指标之一。随着机械加工工艺水平的提高,对零件的表面质量提出了越来越高的要求,因此如何进行测量和评定已成为国内外学者研究的主要课题。自从扫描探针显微镜(SPM)出现后,各类SPM已经成为测量超精密表面粗糙度的有力手段,并发挥出技术优势。