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微细电极丝线切割加工机的开发──采用直径10μm电极丝的加工装置

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摘要微细电极丝线切割加工机的开发──采用直径１０μｍ电极丝的加工装置一、前言近年来，利用半导体制造工艺加工尺寸为１０～１００μｍ的微细机械零件，已受到人们的极大关注。而且，传统的机械加工在微细加工方面也取得了一定进展。其中，包括现在将要介绍的微细放电加工...

作者王克锡

出处《电加工》 1994年第1期33-36,共4页

关键词微细电极丝线切割加工机

分类号 TG484 [金属学及工艺—焊接]

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电加工

1994年第1期

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