摘要
介绍了双光子微细加工的原理及特点 ,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展 .同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果 .
The principle and characteristics of two photon three dimensional microfabrication are introduced. The progress of two photon microfabrication of three dimensional microstructures, three dimensional functional devices and new materials in the world are summarized and some results of our research on two photon microfabrication are presented.
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2004年第1期50-53,共4页
Nanotechnology and Precision Engineering
基金
国家自然科学基金资助项目 (50 2 751 4 0 )
国家863高技术研究发展计划资助项目(MEMS2 0 0 3AA40 4 0 3)
