摘要
微机电系统(MEMS)是微电子技术的拓展和延伸．它把微电子和精密机械互相隔合，实现更广义的片上系统(SOC)。MEMS集成了微型传感器、微型执行器、信号处理器、接口电路、通信电路和电源电路在同一块衬底上，构成一个功能完整的SOC。MEMS将现实世界的微弱信号（如电、磁、光、热、运动等）转化成系统可处理的电信号，由信号处理器进行运算和发出指令，再由执行器完成所需的操作。换句话说，MEMS由于能够实现信息获取、处理和执行并集成在一起，真正实现了机电一体系统化。而被认为是微电子技术的又一次革命。
