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光刻光束线快门实验系统及其快速光电转换
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摘要
本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理,并介绍了光电转换中的一种新方法——高阻法,该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。
作者
李东林
郭从良
机构地区
中国科学技术大学
出处
《电子测量技术》
北大核心
1993年第2期17-20,共4页
Electronic Measurement Technology
关键词
光刻
光束线
光电转换
集成电路
分类号
TN410.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子测量技术
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