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氧化物薄层光电晶体的制备及其透明导电性研究
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摘要
综合报道采用有机金属化学气相沉积技术研制Ti,Fe,Sn,In,Zn氧化物光电薄层晶体的结果。给出了通过MOCVD技术获得透明导电的TiO2-x,Fe2O3.Ti,SnO2.P,SnO2.Sb,SnO2.F,In2O3.Sn和ZnO.H薄层晶体的方法。讨论了这些膜的导电机制。提供了它们在太阳能电池中的应用途径。
作者
罗文秀
任鹏程
出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第5期6-8,40,共4页
Chinese Journal of Power Sources
关键词
光电薄层晶体
透明导电性
制造
分类号
TM914.405 [电气工程—电力电子与电力传动]
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