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激光在IC制造中的应用被引量：1

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作者 Cast.,R 周滨

出处《电子材料（机电部）》 1993年第1期17-17,共1页

关键词集成电路制造激光应用

分类号 TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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同被引文献2

1秦水介,张正平.Ar^+激光器用于电阻微调的研究[J].激光技术,1997,21(3):178-181. 被引量：1
2林.激光微调薄膜片状半固定电阻器[J].电子产品世界,1997,4(11):30-30. 被引量：2

引证文献1

1朱名日,张烈平,徐和飞.激光在超小型电阻参数调试中的应用研究[J].桂林工学院学报,2000,20(3):273-277.

1IC制造[J].集成电路应用,2006,23(6):12-12.
2艾西苑.中国的集成电路产业应该实现可持续发展[J].集成电路应用,2017,34(5):17-21. 被引量：3

电子材料（机电部）

1993年第1期

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