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油扩散泵抽空机组对气体抽气速率选择性的分析 被引量:3

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摘要 通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同时指出电高规常数与气体种类有关。
出处 《通用机械》 2004年第6期65-66,74,共3页 General Machinery
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同被引文献14

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