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微电机械系统(MEMS)的发展

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摘要目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术，以便能产生下一代光学网络标准组件，即全光开关。在该领域，微电子机械系统具有很大的发展潜力，美国的一些公司已经开始了一些项目的研究，

出处《光机电信息》 2001年第4期43-44,共2页 OME Information

关键词微电机械系统全光开关 MEMS 光学网络静电致动器

分类号 TH-39 [机械工程]

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光机电信息

2001年第4期

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