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六氟化钨的合成与开发
被引量:
13
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摘要
介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展,重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。同时介绍了六氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况,评述了六氟化钨在国内外的发展前景。
作者
于剑昆
出处
《无机化工信息》
2004年第2期34-37,3,共5页
Inorgaic Chemical News
关键词
六氟化钨
合成
开发
性质
工业化生产
化学气相沉积
分类号
TQ136.13 [化学工程—无机化工]
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无机化工信息
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