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日立的场发射扫描电镜
被引量：
3
全文增补中
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摘要
本文介绍场发射扫描电镜的工作原理及日本日立公司的几种场发射扫描电镜的型号、性能。
作者
翁寿松
机构地区
无锡元件四厂
出处
《电子工业专用设备》
1993年第1期30-33,35,共5页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
场发射
扫描电镜
日立公司
分类号
TN201 [电子电信—物理电子学]
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