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薄膜生物电极的设计与工艺探讨
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摘要
介绍了利用薄膜混合集成电路技术,设计和制作薄膜生物电极无源元件的方法,以及薄膜导电带淀积的新工艺。
作者
章秀淦
机构地区
福州大学电子科学系
出处
《电子工艺技术》
1993年第6期22-24,共3页
Electronics Process Technology
关键词
混合集成电路
薄膜导电带
生物电极
分类号
TN103 [电子电信—物理电子学]
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电子工艺技术
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