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镀层测厚装置结构设计
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摘要
对一种新型电镀工艺专用设备的性能、特点及结构设计进行了较详细的介绍。
作者
刘五五
机构地区
电子工业部第二研究
出处
《电子工艺技术》
1993年第6期17-18,24,共3页
Electronics Process Technology
关键词
电镀设备
结构设计
测量
镀层厚度
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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电子工艺技术
1993年 第6期
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