现代压电薄膜
-
1吴琼.聚偏氟乙烯压电薄膜的应用及国内发展动态[J].电子材料(机电部),1994(5):16-16.
-
2何大珍.Ta_2O_5压电薄膜声表面波性能的测量[J].压电与声光,1991,13(6):44-47.
-
3李晖,潘峰.声表面波器件的研究进展[J].真空科学与技术,2001,21(5):376-380. 被引量:14
-
4王国栋.压电和铁电薄膜及其应用的发展趋势[J].压电与声光,1991,13(4):13-19.
-
5蒋松涛,吴孟强,吴勇,张树人.薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用[J].材料导报,2006,20(11):21-24. 被引量:5
-
6赵金春.射频磁控溅射法制备a轴取向AlN薄膜[J].当代教育实践与教学研究(电子版),2015,0(10X):80-80.
;