摘要
扫描电镜中的阴极荧光(CL)显微成象及其光谱分析术已日益成为一种研究晶体缺陷、杂质成份、能带结构及各种能级复合发光动力学过程的有效手段。鉴于CL发光强度通常较弱,因而如何设计并研制出高效率的CL收集与传输系统,已成为CL技术发展与应用的关键。典型的CL收集系统有球面镜系统、光学透镜系统、抛物面镜系统和椭球面镜系统等装置型式。本文重点计算了点光源均匀发光模型下大F透镜系统、旋转半椭球面镜系统和半抛物面镜系统的CL收集与传输效率,并设计研制了上述三类高效率CL实验系统。现分别介绍如下:
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1993年第2期191-191,共1页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家自然科学基金
