摘要
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。
In this paper, we briefly review the development of the micromechanisms, microsensors and microactuators, advance the concept of micromechanical electronics system and point out its developmental perspective.
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第5期76-81,共6页
Acta Electronica Sinica
关键词
微机械
微传感器
微执行器
微机构
Micromachine, Microsensor, Microactuator, Micromechanism, Micromechani-cal electronics system
