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Al-Ti合金阳极氧化膜的形成及其介电性能

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摘要 利用计算机和椭偏仪等现代化工具,对新型电解电容器材料Al-Ti合金阳极氧化膜进行了较全面的研究。分析了不同合金组分、不同阴离子以及形成温度等因素对合金阳极氧化过程的影响,给出了被认为最具实用性的含x=54×10^(-2)Al的Al-Ti合金阳极氧化膜的主要介电参数。
作者 宋晔 曹婉真
机构地区 西安交通大学
出处 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1993年第5期104-108,共5页 Electronic Components And Materials
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