摘要
对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提。以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测。在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度。用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位。
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期53-56,共4页
Opto-Electronic Engineering
基金
国防军工计量十五重点资助项目(60803134)
关键词
移相干涉仪
外差振动测量
相位测量
微振
信号处理
Phase-shifting interferometer
Heterodyne vibration measurement
Phase measurement
Perturbation
Signal processing
