半导体工艺流程和器件的辅助设计与仿真软件被引量：3

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摘要 TCAD(Technologv CAD)是一种半导体工艺流程和器件方面的计算机辅助设计与仿真软件，它与我们所熟知的电子设计工具EDA(Electronic Design Automation)一样，是现代集成电路设计和制备不可缺少的重要工具。但是，在功能范围上，EDA主要包括电路和逻辑功能模拟及线路布局，而TCAD的应用领域则包括半导体工艺流程、器件物理。

作者杨征

出处《电子与电脑》 2004年第1期173-176,共4页 Compotech

关键词 TCAD 半导体工艺流程电子设计工具 EDA 电学行为电路缺陷

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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