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高品质清洗技术为IC产业的发展保驾护航
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摘要
在人类社会步入21世纪的今天,现代信息技术正已空前的发展应用于人类生活的各个领域。作为信息产业乃至信息化基础和核心的半导体产业,越来越受到人们的瞩目和产业界的重视。本刊就IC产业的特殊性,洁净、空气、清洗技术、环保等诸多问题,特请海内外半导体产业知名的企业家和专家,就此话题,发表自己的观点,愿为读者提供一些启迪及参考。
作者
扬雪
张伟
机构地区
本刊通讯员
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期26-29,共4页
Semiconductor Technology
关键词
IC产业
清洗
洁净
环保
封装测试
分类号
F407.63 [经济管理—产业经济]
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半导体技术
2004年 第7期
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