氮化铝单晶薄膜及其制备方法
出处
《无机盐工业》
CAS
2004年第4期62-62,共1页
Inorganic Chemicals Industry
-
1余双人.日本厂校合作成功首创高质量氮化铝单晶膜[J].精细与专用化学品,2006,14(3):37-37.
-
2刘壮,林晶,孙智慧,高德.缠绕式射频磁控溅射聚酯(PET)表面沉积氧化硅(SiO_x)薄膜的研究[J].真空科学与技术学报,2009,29(S1):94-97. 被引量:5
-
3吉亚萍,张琳琳,李鹏,侯兴刚,黄美东.溅射沉积TiO_2薄膜结构及性能的基础研究[J].天津师范大学学报(自然科学版),2010,30(1):33-36. 被引量:1
-
4严学华,程晓农,肖兆娟,徐桂芳.ZrW_2O_8薄膜的物相转变与负热膨胀系数[J].江苏大学学报(自然科学版),2007,28(2):135-137. 被引量:2
-
5熊娟,顾豪爽,胡宽.Mo电极形貌对AlN薄膜择优取向生长的影响[J].功能材料与器件学报,2010,16(2):183-186.
-
6周洪彪,张化宇,王志刚.氢化及沉积温度对掺铝ZnO透明导电薄膜性能影响[J].复合材料学报,2012,29(5):83-87. 被引量:3
-
7李彤,介琼,张宇,倪晓昌,赵新为.工作气压对ZnO:Mn薄膜结构特性的影响[J].发光学报,2013,34(6):711-715. 被引量:3
-
8毕振兴,张之圣,胡明,樊攀峰,刘志刚.射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究[J].硅酸盐通报,2005,24(4):6-9. 被引量:3
-
9高文敏,武莉莉,曾广根,王文武,李卫,张静全,黎兵,冯良桓.溅射制备CdS薄膜及其在CdTe电池中的应用[J].功能材料,2016,47(3):47-50.
-
10鲁林峰,沈鸿烈,张娟,江丰,李斌斌,沈洲,刘恋慈.Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi_2薄膜结构和表面形貌的影响[J].人工晶体学报,2010,39(4):883-887.
;