真空系统中工作的风机设计探讨

阐述了ＣＯ激光器系统所用特种风机的设计，为使风机在真空度较高的系统中工作，设计中成功地处理了机器的密封和结构刚性等问题，使风机可以在５３３２Ｐａ真空下工作而不渗漏。给出了风机性能曲线。