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SEMI公布12项半导体及平板显示器制造新标准
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摘要
国际半导体设备暨材料协会(SEMI)近日公布了12项适用于半导体和平面显示器制造业的新技术标准。这些新标准由来自设备供应商、元件制造商和其他参与SEMI国际标准计划公司的技术专家共同制定。
出处
《电子工业专用设备》
2004年第7期42-42,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
SEMI
半导体
平板显示器
制造标准
分类号
F407.63 [经济管理—产业经济]
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电子工业专用设备
2004年 第7期
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