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IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和微电子机械系统标准的协议

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摘要加州圣何赛，2004年6月7日-SEMI和IEEE签署了一项关于合作项目的谅解备忘录，该项目旨在创建纳米技术和微电子机械系统(MEMS)标准。此协议的签订标志着协议双方的首度标准协调合作。

出处《电子工业专用设备》 2004年第7期45-45,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 IEEE SEMI 纳米技术微电子机械系统标准

分类号 F407.63 [经济管理—产业经济]

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电子工业专用设备

2004年第7期

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